
中科仪(920186)10月20日公告,公司计划在已有募投项目“干式真空泵产业化建设项目”和“高端半导体设备扩产项目”基础上,实施集成电路干式真空泵扩产项目,旨在提升干式真空泵核心零部件自主制造能力,降低外协依赖,优化产品成本结构,从而提升整体盈利水平。
根据公告,该扩产项目拟在沈阳、南通及上海三地实施,其中,沈阳和南通主要围绕集成电路干式真空泵开展产业化扩产建设,通过新建加工中心厂房、新增及升级生产、装配、检测测试等相关设备和设施,进一步提升干式真空泵规模化生产能力;上海分公司主要围绕干式真空泵相关零部件加工制造环节,通过新增机械加工、检测、清洗及自动化等设备,提升核心零部件加工制造能力。
元股证券:ygzq.hk该项目的资金来源为自筹资金,项目拟投资4.23亿元。其中,中科仪及上海分公司拟投资1.91亿元,中科仪(南通)半导体设备有限责任公司拟投资2.32亿元。本次新增项目预计建设期为3年,其中第一年投资金额为3.36亿元,第二年投资金额为7670.81万元,第三年投资金额为993.67万元。
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干式真空泵是半导体多个制程中的通用真空设备排名前五配资公司可信吗,中科仪相关产品应用场景覆盖单晶拉晶、Load-Lock、刻蚀、CVD、ALD、封装、测试等清洁或严苛制程。在晶圆制造领域,以12英寸晶圆生产线为例,每3.5万片/月产能约需配置2000台真空泵,晶圆制造新增产能、工艺设备扩充及存量设备更新能够形成较大的干式真空泵需求。

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